快速升溫爐
簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-4-RTP-130 快速升溫爐應(yīng)用范圍:OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有Φ130mm石英管和不銹鋼密封法蘭,它是專(zhuān)為氧化物、半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片(最大達(dá)4英寸)的快速退火而設(shè)計(jì),采用紅外燈管加熱最快升溫速度為50℃/秒,精度為+/-1°C。
產(chǎn)品型號(hào): OTF-1200X-4-RTP-130
所屬分類(lèi):400-1200℃箱式爐
更新時(shí)間:2024-11-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
技術(shù)參數(shù) | |
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名稱(chēng)型號(hào) | 快速升溫爐OTF-1200X-4-RTP-130 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | 紅外加熱,最快升溫速率50℃/S 最大4英寸基片都可以放入退火 法蘭安裝在滑軌可以直接推拉,實(shí)現(xiàn)快速降溫。 可以選配壓縮波紋管在氣氛環(huán)境下冷卻 |
加熱爐系統(tǒng) | 輸入電源 AC 380V 50HZ,最大功率:24KW 最高工作溫度:900℃(<30min),長(zhǎng)期工作溫度:800℃ 控溫?zé)犭娕迹哼M(jìn)口K型熱電偶,緊貼在放樣品ALN片下(ALN片為標(biāo)配,可按照客戶(hù)要求定制不同材質(zhì)基片) 加熱元件:紅外燈管12根短波紅外燈管,每根2KW加熱區(qū)尺寸:Ф210mm*320mm 室溫至900℃:建議升溫速率10℃/s最大升溫速率50℃/s降溫速率:800℃-350℃降溫速率55℃/min 350℃-200℃降溫速率5℃/min(在一個(gè)大氣壓下,樣品架在爐子內(nèi)) 降溫速率:800℃-350℃降溫速率200℃/min 350℃-50℃降溫速率35℃/min(在一個(gè)大氣壓下,樣品架拉到爐體外)標(biāo)配浮子流量計(jì):16-160ml/min 石英管外徑130mmx內(nèi)徑120mmx600mmL包含一款808P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃) PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)智能化30段可編程控制 控溫精度:±1℃默認(rèn)DB9PC通信連接端口 |
不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | 水冷密封法蘭,密封法蘭和腔體法蘭之間采用硅膠O型圈密封方式。 左端法蘭裝有機(jī)械壓力表和進(jìn)氣截止閥,左邊爐體上留有進(jìn)氣口,進(jìn)氣時(shí),氣體通過(guò)浮子流量計(jì)后進(jìn)入法蘭進(jìn)氣口,然后進(jìn)入爐管內(nèi)。 左端法蘭內(nèi)側(cè)有石英制隔熱擋板。 右端法蘭上裝有出氣截止閥,一個(gè)KF25接口用于抽真空,一個(gè)1/4英寸雙卡套接頭用于插入熱電偶。右端法蘭內(nèi)側(cè)有石英制隔熱擋板和樣品支架,熱電偶測(cè)溫點(diǎn)位于樣品正下方。 右端法蘭安裝在滑軌上可以直接推拉,實(shí)現(xiàn)快速退火。 |
水冷機(jī)(選配) | 型號(hào):KJ-5000 工作電壓:AC 220V 50HZ 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h 壓縮機(jī)功率:300W,水箱容量:6L 最大流量:16L/min,凈重:24Kg |
真空系統(tǒng)(選配) | 配套機(jī)械泵,真空度可以達(dá)到10-2ttor 配套分子泵,真空度可以達(dá)到10-5ttor |
產(chǎn)品尺寸 | 外形尺寸:1100*700*660mm(長(zhǎng)*寬*高 法蘭關(guān)閉) 外形尺寸:1400*700*660mm(長(zhǎng)*寬*高 法蘭打開(kāi)) 外形尺寸:1100*700*950mm(長(zhǎng)*寬*高 爐子打開(kāi),法蘭打開(kāi)) |
重量 | 約100kg |
保質(zhì)期 | 1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
使用注意事項(xiàng) | 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa; 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全; 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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