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磁控濺射鍍膜儀

磁控濺射鍍膜儀

簡(jiǎn)要描述:GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的最-簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備,適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

產(chǎn)品型號(hào): GSL-1100X-SPC-16M

所屬分類:等離子鍍膜設(shè)備

更新時(shí)間:2024-11-05

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的最-簡(jiǎn)單、可靠、

經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備,適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

功能特點(diǎn)
  • 設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

  • 通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體,

  • 以獲得最佳鍍膜效果。

  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

  • 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

  • 濺射頭采用Peltier制冷技術(shù),可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。

  • 可用水冷濺射頭、水冷載物臺(tái)。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
工作臺(tái)尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
通風(fēng)裝置不需要
?50mm
真空室?160mm×120mm
最高真空度≤4×10-2mbar
最大電流50mA(100mA)
可設(shè)定最長(zhǎng)時(shí)間9999s
微型真空氣閥連接?3mm軟管
最高電壓1600V DC
機(jī)械泵2L/s
尺寸360mm×300mm×380mm
可選配件金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件1金靶材1個(gè)
2進(jìn)氣針閥1個(gè)
3保險(xiǎn)絲2個(gè)


GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀

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